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高安然
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20
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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国家自然科学基金
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合作作者
李铁
中国科学院研究生院
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
鲁娜
中国科学院上海微系统与信息技术...
戴鹏飞
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘翔
中国科学院研究生院
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
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鲁娜
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 生物传感器 湿法腐蚀 传感器 半导体工艺
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戴鹏飞
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 湿法腐蚀 生物传感器 半导体工艺 光刻工艺
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刘翔
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:液滴 静电驱动 低电压 静电力 温度梯度
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赵清太
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:沟道 生物传感器 衬底材料 SUB 金属硅化物
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俞正寅
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微泵 传感器件 高深宽比 感应耦合等离子体 硅衬底
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戈肖鸿
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
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宋世平
供职机构:中国科学院上海应用物理研究所
研究主题:纳米金 生物传感器 DNA 电化学 生物检测
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樊春海
供职机构:上海交通大学
研究主题:DNA 纳米金 生物传感器 电化学 纳米
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