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顾文琪
作品数:
100
被引量:79
H指数:4
供职机构:
中国科学院电工研究所
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发文基金:
中国科学院知识创新工程重要方向项目
国家重点基础研究发展计划
“九五”国家科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
一般工业技术
电气工程
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合作作者
马向国
北京物资学院
韩立
中国科学院电工研究所
司卫华
清华大学
董晓文
中国科学院研究生院
张福安
中国科学院电工研究所
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马向国
供职机构:北京物资学院物流学院
研究主题:聚焦离子束 液态金属离子源 仿真 PIC单片机 模拟电荷法
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电子束曝光 电流变液
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董晓文
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 压印
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张福安
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 亚微米 电子束 缩小投影电子束曝光
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所获资助
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司卫华
供职机构:清华大学
研究主题:纳米压印 模版 紫外 热压印 反应离子刻蚀
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所获资助
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方光荣
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:图形发生器 电子束曝光机 电子束 电子束曝光 电子束曝光系统
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薛虹
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光机 电子束曝光 图形发生器 电子束 扫描电子显微镜
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刘俊标
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 电子枪 超声电机 盲文 束流
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初明璋
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:原子力显微镜 电子束 二硼化镁 进针 单质
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供职机构
所获资助
研究领域
刘同娟
供职机构:北京物资学院
研究主题:仿真 MATLAB 聚焦离子束 PIC单片机 微处理器
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