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龚义元
作品数:
7
被引量:7
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家科技攻关计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
徐秋霞
中国科学院微电子研究所
汪锁发
中国科学院微电子研究所
扈焕章
中国科学院微电子研究所
吴德馨
中国科学院微电子研究所
何龙珠
中国科学院微电子研究所
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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汪锁发
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:激光器 MOS LDD 多晶硅 微带线
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何龙珠
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:CMOS集成电路 硅材料 集成电路 CMOS 硅
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何自强
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅 集成电路 CMOS集成电路 CMOS 硅材料
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所获资助
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扈焕章
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MOS LDD 锗 SOI工艺 薄栅
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吴德馨
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:ALGAN/GAN HEMT INGAP/GAAS_HBT 欧姆接触 HBT
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邓惠芳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:热退火 硅 AL SOI 掺锑
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郁元桓
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅 单晶硅 MOCVD AL SOI
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蔡田海
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅 单晶硅 氢 辐照缺陷 中子辐照
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乔永平
供职机构:北京大学
研究主题:光探测器 光电器件 电极 真空蒸镀 有机层
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