2025年1月17日
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方靓
作品数:
1
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H指数:1
供职机构:
电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
杨健苍
电子科技大学光电信息学院电子薄...
何伟
电子科技大学光电信息学院电子薄...
杨成韬
电子科技大学光电信息学院电子薄...
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杨健苍
供职机构:电子科技大学
研究主题:ALN薄膜 SC 电学性能 直流反应磁控溅射 前驱体
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供职机构
所获资助
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杨成韬
供职机构:电子科技大学
研究主题:PZT 铁电薄膜 射频磁控溅射 ALN薄膜 压电薄膜
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相关人物
供职机构
所获资助
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何伟
供职机构:电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室
研究主题:仿真模型 铁电 前驱体 原子层沉积 单粒子效应
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