2025年1月30日
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马欣
马欣
作品数:
4
被引量:4
H指数:1
供职机构:
河北工业大学电子信息工程学院
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发文基金:
河北省自然科学基金
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
牛新环
河北工业大学电子信息工程学院
付蕾
河北工业大学电子信息工程学院
张文倩
河北工业大学电子信息工程学院
王辰伟
河北工业大学电子信息工程学院
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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刘俊杰
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:化学机械抛光 一致性 硅 通孔 有机胺
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王如
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 SM 磁性能 生物医学材料
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李海清
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:TSV 硅衬底 碱性抛光液 化学机械抛光 抛光液
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付蕾
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 钴 电偶腐蚀 H2O2 铜
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冯翠月
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:铝栅 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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张文倩
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 化学机械抛光 去除速率 铝栅 表面粗糙度
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